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第740章、秦总指导路线,从来没错过!


“秦总,有这笔钱就足够了,一年之内,我们就能搞出193纳米的ARF光刻机,如果使用多重曝光技术,这种光刻机可以一直用到90纳米,但是,在下一代65纳米的工艺节点上,这种光刻机就被限制住了。”
大部分人都知道,制造芯片会被光刻机卡脖子,但是究竟怎么卡脖子,并不是很清楚。
制造芯片,本质上就是在硅片上刻蚀电路,经过多年发展,光刻法已经彻底成熟了,这就和照相机一样,在硅片上抹一层光刻胶,然后用光刻机把对应的光刻胶烧掉,就像是照相机底片感光一样,从而把电路图做出来。
没错,光刻机只是像是复印机一样,把电路图复制在硅片上,接下来还会有刻蚀机,根据光刻出来的电路图,在硅片上用化学手段做出MOS管来,从而做出一个个电路。
光刻是最重要的一步,光刻机的技术进步,也会推动芯片制造工艺的进步。
而光刻机之中,光源的波长很重要。
早些年使用的是紫外光源,从波长436纳米的g线到波长365纳米的i线,发展到了深紫外光源,也就是波长248纳米的KrF和波长193纳米的ArF,到这里,技术止步了!
“目前193纳米的光源,使用多次曝光技术,可以把工艺推进到90纳米,几乎所有人都认为,193纳米的光刻机,是无法延伸到65纳米技术节点的,如果继续改进制程,那就需要在光源上做手脚。”
别看徐教授这几年在造光盘,但是,他从来就没有离开过自己真正喜爱的光刻机!一直都在关注光刻机技术的进步!
己方现在可以造ArF光源的光刻机,接下来的技术路线怎么解决?
光刻机的波长越小,就代表着光源越细,光刻电路也会越细,芯片的技术制程才能推进一大步。
“目前,行业内一共有两种技术路线,尼康、佳能这些老牌公司,主张使用157纳米的氟气准分子激光作为光源,全新的EUV LLC联盟主张使用极紫外激光器技术,也就是EUV光源,直接把技术路线迭代到十纳米以下。但是……”
这两种技术路线,都有严重缺陷!
波长越短的光,越容易被吸收!157纳米的光源,会被大多数材料强烈吸收,以至于无法到达芯片上!只有二氟化钙研磨的镜头可以勉强使用,但是这种材料做光学镜头,质量太差,寿命也短。
至于EUV光源,那就不用折射原理了,直接加反射镜片,解决了透镜吸收光源的问题,但是,这种光刻机属于全新的产品,研发很难,而且,极紫外光的产生很困难,需要耗费大量的电力。
两种技术路线,都有很大的问题,接下来用什么技术路线,非常关键!
“嗯,我们开辟新的赛道。”秦川说道:“我们在ArF光刻机的基础上,镜头和光源之间加一层水,通过水的折射作用,把193纳米光源降低到134纳米。”
什么?
徐教授惊呆了,倪老也惊呆了。
这不是开玩笑吗?在精密的光刻机镜头上,加一层水?
万一这层水要是漏了,岂不是会让光刻机坏掉?万一水里有一个气泡,岂不是会改变光线的路径,从而导致整个硅片都报废?
193纳米以下光源技术,困扰了整个光刻机行业很多年!
尼康、佳能这些光刻机巨头,坚定地走157纳米光源道路,结果……技术路线错误,耗费巨资研制出来的157纳米光刻机,没得到一个订单!这些巨头也因此而衰落。
后世大名鼎鼎的ASML,就是因为押宝浸润式光刻机,取得了圆满成功,赢家通吃,彻底占领光刻机市场!
秦川不懂造芯片,但是基本的路线还是知道的。而且,他还知道其中一个关键人物:林本坚!
林本坚,湾湾人,1970年从湾湾毕业之后,就去了俄亥俄州立大学读研,老师就是光刻机领域里的技术泰斗:帕特里克-怀特博士。在导师的带领下,他们团队研制出来了深紫外光源,从248纳米进步到了193纳米。
林本坚毕业后,先加入了IBM公司,之后又在IBM旗下的领创公司工作,继续捣鼓光刻机技术,当光刻机技术在193纳米光源面前停滞不前的时候,他提出来了浸润式技术,也就是把光源和镜头泡在水里,从而将光源波长缩短。
可惜,他四处碰壁,IBM不要,之后他新加入的台积电也不要,他只能跑去给默默无名的ASML推销,然后,ASML就成功了!
嗯,这个人也必须要弄到手,如果他不来,就干掉他,总之,这条技术路线,不能让其他光刻机厂商走,尤其是ASML!
“秦总,秦总!”
秦川这才发现,自己刚刚走思了!
徐教授深深地呼吸了一口气:“秦总,您坚持走这条技术路线?”
“没错,详细我,这条路线是最正确的,等到这种光刻机研发成功,我们芯片制造到45纳米都不用愁了,再往后,我们就可以研发EUV光刻机!”
只有十几纳米波长的极紫外光,是刻蚀十纳米以下芯片最合适的光刻机,不过……技术难度也相当大,得用十年以上的时间来研发。而浸润式光刻机,就是最好的过渡产品!
“好!”
秦总别的本事没有,指导技术路线方面,从来没错过,哪怕是跨专业指导!
既然秦总坚持,那就一定有他的道理,只要听秦总的就可以了!
“嗯,徐教授,加油,我们的电子技术能否成为世界第一,就看你的了!”
要么不做,要做就做到世界第一!
徐教授点头:“好!”他也是因为这个,在接到召唤之后,才会立刻赶来的原因,既然要搞,就是瞄准世界第一的!
“组建团队,选择工作地点这些,有需要集团帮助的,随时开口!咱们会全力支持,让你们安心工作。”
“嗯,我会去大学,把之前的团队找来,工作地点,在大学附近找个地方就行……”

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